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Transpector MPH 残余气体分析仪

  • 所属分类:残余气体分析仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2019/07/02
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详细介绍

Transpector MPH 残余气体分析仪

监控您的过程

无与伦比的性能有助于提高产量并实现最长运行时间

持续升高的硅晶圆价格和成品需求意味着损坏晶圆的代价比以前更高。因此,在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector
MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内一流的性能,有助于最大限度地提高芯片产量,降低工具停工时间。Transpector MPH
兼具较低总体拥有成本和较长故障平均间隔时间的特性,有助于让您的盈亏底线优于市场上的所有其他残余气体分析仪 (RGA)。

INFICON
发挥其在气体分析过程控制设备领域的专长,制造的 RGA 拥有业内一流的数据采集速度、最低可检测分压和最小的信噪比。所有这些特性都不会牺牲 INFICON
Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。

 

功能

· 模拟扫描和所选峰值的 1.8 ms 最高每点数据率

· TCP/IP 以太网连接

· 双丝极

· 可现场更换电子倍增器

· 组合阳极、阴极和反射极丝极套件

· 较短的传感器可降低安装占地面积

· 九个数量级的动态量程

· <2E-15 Torr 的 MDPP(100 amu 型号)

· 信噪比更高

· 可调换传感器和电子元件

· 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装

· 符合 RoHS 标准

 

规格

类型

MPH100F

MPH100M

MPH200F

MPH200M

MPH300F

MPH300M

传感器长度


14.3 cm

19.3 cm

14.3 cm

19.3 cm

14.3 cm

19.3 cm

质量范围


100 amu

100 amu

200 amu

200 amu

300 amu

300 amu

检测器类型


FC

FC/EM

FC

FC/EM

FC

FC/EM

灵敏度 (FC)


6E-4 A/Torr

6E-4 A/Torr

5E-4 A/Torr

5E-4 A/Torr

4E-4 A/Torr

4E-4 A/Torr

灵敏度 (EM)


NA

500 A/Torr

NA

500 A/Torr

NA

250 A/Torr

最小可检测分压


3E-13 Torr

2E-15 Torr

4E-13 Torr

3E-15 Torr

5E-13 Torr

4E-15 Torr

最高传感器工作温度(FC)


200°C

200°C

200°C

200°C

200°C

200°C

最高传感器工作温度(EM)


NA

150°C

NA

150°C

NA

150°C

丝极类型选件 (1)


Y2O3/Ir

Y2O3/Ir

Y2O3/Ir

Y2O3/Ir

Y2O3/Ir

Y2O3/Ir

丝极类型选件 (2)


Tungsten

Tungsten

Tungsten

Tungsten

Tungsten

Tungsten

分辨率(整个质量范围内)


<1 amu wide (3)

<1 amu wide (3)

<1 amu wide (3)

<1 amu wide (3)

<1 amu wide (3)

<1 amu wide (3)

温度系数


<1% of peak height/°C

<1% of peak height/°C

<1% of peak height/°C

<1% of peak height/°C

<1% of peak height/°C

<1% of peak height/°C

最高每点数据率


1.8 ms

1.8 ms

1.8 ms

1.8 ms

1.8 ms

1.8 ms

零冲击(@ 质量 2)


<5 ppm

<5 ppm

<65 ppm

<65 ppm

<100 ppm

<100 ppm

最大工作压力


5E-4 Torr

5E-4 Torr

5E-4 Torr

5E-4 Torr

5E-4 Torr

5E-4 Torr

最高烘烤温度

°C°F

300

300

300

300

300

300

功率输入


20-30 VDC

20-30 VDC

20-30 VDC

20-30 VDC

20-30 VDC

20-30 VDC

(1) 用于普通应用

(2) 用于卤素环境应用

(3) 位于峰值高度的 10% 

 


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