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真空系统检漏方法之声波检漏

发布日期:2019-10-09 作者:安徽歌博科技有限公司 点击:

真空检漏方法除了最精准的氦质谱检漏仪检漏外声波检漏也是一种常用的检漏方法声波在日常中无处不在,它是机械振动在弹性介质中的传播形式。按照频率,声波分为人耳可闻的20Hz~20kHz的可闻声波,不可闻的低于20Hz次声波以及大于20kHz的超声波。真空系统检漏所用的声波检漏法就是利用系统漏孔泄漏过程中产生的声波来查找漏孔。具体实现的方法包括超声波定向探头检漏法与声发射检漏法。

当真空系统中存在较大的漏孔时(10-3Pa·m3/s以上),气体穿过漏孔会在附近形成湍流,产生大于20kHz的连续宽带超声波,在空气中传播。超声波定向探头检漏就是利用带有定向超声波探头的超声波检漏仪,对系统进行查扫,探测漏孔发出的超声波信号。超声波的方向性很强,调整探头方向可以找到输出最大值,此时探头所指的被检件位置便为漏孔的位置。但如果漏孔较小、流过漏孔的气流稀薄为黏滞流或分子流时,超声波检漏就无法探查到。

声发射检漏利用的就是在漏孔内外存在较大压差时,气体或液体通过漏孔,会在漏孔处激发出连续的机械应力波,其频带范围从几赫到几百千赫,此时将AE换能器(接触探头)置于器壁上接收这种应力波,并转化为连续的电信号,放大传送至声发射检漏仪器,经分析处理就可以确定漏孔位置及大小


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关键词:氦质谱检漏仪,真空检漏仪,氦气检漏仪

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