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真空箱氦检设备的日常维护

发布日期:2019-01-11 作者:上海乐务电子科技有限公司 点击:

氦质谱真空检漏仪浅析设备重点保养:

  真空箱氦检漏设备日常巡检:

  在日常的巡检中要对几个重点部位进行检查;

  箱门密封的清洁情况,表面有无破损,接口处是否有缝隙;

  箱体内是否清洁,有无异物存在:箱接头密封是否有及时更换,及时加油润滑;

  油色清澈透明,有无漏油现象,泵温在正常范围不过热;

  检漏仪温度及泵油在要求范围,油色清澈透明;

  配电柜的清洁无污,通风良好;

  电磁阀固定螺丝有无松动掉落;

  各气源有无漏气现象:箱门滑轨润滑情况;

  设备本底值是否在正常范围,有无波动现象;

  设备整体5S和日常点检的准确真实性;

  在巡检中发现问题要及时处理,避免引起较严重的故障。

  真空箱氦检漏设备重点部位维修保养:

  根据巡检的情况及时处理问题,消除缺陷;

  保养时应从重点入手,消除故障隐患;

  真空泵:真空泵油的更换,排气过滤器的更换,泵体周围漏油修复,真空极限检测;

  管路:连接处紧固,过滤器清洁,管路固定;

  真空阀门:内部清理、检漏螺丝固定、法兰紧固;

  箱门:错位调整;密封磨损更换,表面清洁;

  检漏仪:泵油更换,通风风扇情路;

  电磁阀:螺丝紧固,阀芯检查,动作确认。

真空检漏仪器

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